新會區(qū)氦氣、特種氣體營銷方式
特種氣體有哪些？分別運用于哪些行業(yè)？作用是什么？
特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，隨著國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測（特別是微電子技術）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜、醫(yī)藥等新興行業(yè)。
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特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。
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